设备称号:JEOL(日本电子)JSM-6480型扫描电镜 

OXFORD(牛津)INCA-350型能谱仪 

OXFORD(牛津)INCA wave 550型波谱仪

      制作厂家:日本电子、牛津

机能目标:

分辩率          3.0 nm

缩小倍数        5×~300000×

加快电压        0.3kv~30kv

路程            X=125mm   Y=100mm   Z=80mm

倾斜            T –10°~+90°

扭转            R 360°持续

样品托          φ32mm

图象形式        二次电子图象  背散射电子图象

显现像素        2560×1920

探头            锂漂移硅 Si(Li)

阐发元素规模    Be4 以上元素 

探头分辩率      优于133ev 

对阐发地区      点扫描、线扫描、面扫描、不法则地区扫描

应用规模:断口扫描、微观成份阐发。


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电镜能谱扫描仪